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東北大学:窒化ガリウム単結晶基板の量産法を開発

2020/6/1 13:00

東北大学:窒化ガリウム単結晶基板の量産法を開発

2020/6/1 13:00

 東北大学は6月1日、省エネルギーに資する窒化ガリウム単結晶基板の量産法を開発した。持続可能な社会を実現するためには電力の変換効率を向上させることが喫緊の課題とする。解決方法は、電力制御を担う高周波パワートランジスタの半導体材料を従来の珪素から窒化ガリウム(GaN)に置き換えることである一方、現状で信頼性が高いGaNトランジスタの作製は困難だという。そこで東北大学多元物質科学研究所 秩父重英 教授らは日本製鋼所、三菱ケミカルと協力し、反りがほとんど無い、大口径且つ高純度なGaN単結晶基板の量産を行える低圧酸性アモノサーマル法の開発に成功したとする。

〔参照〕
省エネルギーに資する窒化ガリウム単結晶基板の量産法を開発 -次世代パワーエレクトロニクスの実現に道-

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